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普发涡轮分子泵系统的操作注意事项是什么呢?

发布时间: 2022-10-28  点击次数: 1412次
 
  普发涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
  涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完辩非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。转子的抽气单元有涡轮叶片、盘式叶片和牵引式螺旋槽结构。而且动、静叶片间的间隙很小,叶片很长刚性差。由于操作错误,突暴大气到泵中,使叶片损坏,因为受大气负载和离心力的作用开始弯曲振动,超过动、静叶片的间隙将会发生叶片相碰损坏事故。因而,高速旋转的转子系统遭到破坏时有发生,所以对于涡轮分子泵的安全使用问题,曾引起过涡轮分子泵的设计者和操作者的重视和研究,以使涡轮分子泵顺利推广应用与安全运行。
  普发涡轮分子泵系统的操作注意事项
  (1)不能在前级泵工作时(前级管道接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉,否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。
  (2)分子泵系统在停机充干燥气体前,一定要先将分子泵冷却水关闭,且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。
  (3)选择抽气系统前级泵的大小时,应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。
  (4)不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。
  (5)分子泵入口应装设防护网,以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。
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