机械涡轮分子泵是一种高效的真空泵,其利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。在电机的带动下,涡轮分子泵高速旋转,动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150词400米/秒)。在分子流区域内,气体分子与高速转动的叶片表面碰撞,动量传递给气体分子,使部分气体分子在刚体表面运动方向上产生定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。
1、启动快:机械涡轮分子泵能够快速启动并达到工作状态。
2、抗辐射能力强:这种泵能承受各种射线的照射而不损坏。
3、耐大气冲击:机械涡轮分子泵具有良好的耐大气冲击能力。
4、无污染:由于其设计原理,涡轮分子泵在工作时不会产生油蒸气污染,因此可以获得清洁的超高真空环境。
5、高压缩比:涡轮分子泵对不同种类的气体有不同的压缩比,例如对氮气或空气的压缩比为108~109,对氢气为102~104,而对于分子量大的气体如油蒸气,压缩比则大于1010。
6、极限压力低:该泵的极限压力极低,可达10-9帕。
7、工作压力范围宽:机械涡轮分子泵的工作压力范围从10-1至10-8帕。
8、抽气速率高:其抽气速率可以从几十升每秒到几千升每秒(1升=10-3米3)。